Man braucht die Maschine, um KI-Chips zu produzieren, eine einzige Firma baut sie und nur wenige Länder dürfen sie überhaupt kaufen. Doch nun haben die USA einen üblen Verdacht: Konnte sich China trotz Sperre eine der begehrten Maschinen beschaffen? Die Fakten.
Die Niederlande haben in der Geschichte der Weitergabe von Schlüsseltechnologien, die die moderne Welt geprägt haben, weit über ihre Größe hinausgewirkt. Im 17. Jahrhundert verbreiteten sich ihre Innovationen im Finanzwesen und in der Landwirtschaft nach Großbritannien und legten damit die Grundlage für die Industrielle Revolution sowie den Aufstieg des Britischen Empires.
Der russische Zar Peter der Große studierte den niederländischen Schiffbau, um jene Flotte aufzubauen, die Russland im 18. Jahrhundert zur Seemacht machte. Und in den 1970er Jahren entwendete der pakistanische Wissenschaftler A.Q. Khan Baupläne aus einem niederländischen Labor – der Ausgangspunkt für das pakistanische Atomwaffenprogramm und später auch für ähnliche Vorhaben in Nordkorea, Iran und Libyen.
Hat niederländisches Know-how nun erneut das globale Machtgefüge verschoben? Diesen Vorwurf erhebt zumindest die Regierung Trump. Seit 2019 verhindern die USA die Ausfuhr von Lithografiemaschinen für die sogenannte Extrem-Ultraviolett-Technologie (EUV) nach China. Diese Anlagen sind unverzichtbar für die Herstellung der modernsten Halbleiter, auf denen wiederum die leistungsfähigsten Modelle künstlicher Intelligenz basieren. Weltweit werden sie ausschließlich von ASML gefertigt, einem niederländischen Unternehmen.
In den vergangenen Wochen geriet ASML jedoch unter erheblichen Druck, nachdem US-Handelsminister Howard Lutnick dem Unternehmen mitgeteilt hatte, die amerikanische Regierung befürchte, eine dieser Maschinen könne nach China gelangt sein.
ASML weist dies entschieden zurück. Europas wertvollstes Technologieunternehmen erklärte gegenüber amerikanischen Behörden, den genauen Standort sämtlicher 340 bislang produzierten EUV-Anlagen zu kennen – darunter auch 26 außer Betrieb genommene Maschinen. Keine davon befinde sich in China. Zudem könne ausschließlich ASML die hochsensiblen Anlagen transportieren, die permanent online überwacht würden. Auch die gelieferten Komponenten würden ausschließlich von ASML-Ingenieuren in den Fertigungsstätten der Kunden installiert und gewartet.
"ASML hat niemals eine EUV-Maschine nach China geliefert und auch keine Komponenten, Module oder Ausrüstung exportiert, die speziell für den Einsatz in einer EUV-Maschine entwickelt wurden", erklärt das Unternehmen. Trotz wiederholter Nachfragen habe ASML bislang keinerlei Belege erhalten, die Lutnicks Behauptung stützen würden.
Auch die niederländische Regierung weist die Vorwürfe zurück, nimmt sie jedoch ernst. Bei einem Besuch in Washington Ende Juni versuchte Handelsminister Sjoerd Sjoerdsma, Lutnick sowie weiteren Regierungsvertretern und Kongressmitgliedern zu verdeutlichen, dass die Niederlande ihre Exportkontrollen – insbesondere im Bereich der EUV-Technologie – konsequent durchsetzen.
In einem Interview mit The Economist am 2. Juli wollte Sjoerdsma keine Einzelheiten über Gespräche zu Lutnicks Vorwürfen preisgeben. Zugleich stellte er klar, dass die niederländische Regierung derzeit keine Ermittlungen auf Grundlage der amerikanischen Behauptungen führe. "Sollten sich Hinweise ergeben, die Untersuchungen oder gar strafrechtliche Schritte erforderlich machen, würden wir selbstverständlich entsprechend handeln", sagte er.
Auf den ersten Blick dreht sich der Streit um die Frage, ob Lutnicks Behauptung überhaupt eine faktische Grundlage besitzt. Zwar wurden bislang keine Beweise veröffentlicht, doch einige mit dem Vorgang vertraute Personen bezeichnen die Informationen als "nicht verifiziert", aber auch "nicht unbegründet".
Viele Branchenexperten halten es für äußerst unwahrscheinlich, dass eine komplette EUV-Maschine von ASML nach China gelangt ist. Einige schließen jedoch nicht aus, dass einzelne Komponenten – möglicherweise über Zulieferer oder andere Zwischenhändler – ihren Weg dorthin gefunden haben könnten.
Andere vermuten dagegen, dass sich der eigentliche Streit auf ASMLs ältere DUV-Lithografiesysteme (Deep Ultraviolet) sowie auf dazugehörige Ersatzteile und Dienstleistungen bezieht. Der Großteil dieser Produkte unterliegt bislang keinen Exportbeschränkungen. Die DUV-bezogenen Geschäfte mit China machten im Jahr 2025 rund ein Drittel des Umsatzes von ASML aus.
Hinter der aktuellen Kontroverse verbergen sich jedoch grundlegendere Differenzen über Chinas technologischen Aufstieg und die angemessene Reaktion westlicher Regierungen. Zugleich verdeutlicht der Konflikt die zunehmenden Spannungen zwischen der Trump-Regierung und zahlreichen Verbündeten, insbesondere in Europa.
Viele amerikanische Regierungsvertreter halten Europa gegenüber China für zu nachgiebig. Umgekehrt wächst in europäischen Hauptstädten die Sorge, Washington gefährde mit seiner Politik wirtschaftliche und sicherheitspolitische Interessen der Verbündeten, während es gleichzeitig versuche, eigene bevorzugte Vereinbarungen mit Peking auszuhandeln.
Darüber hinaus befürchten manche europäische Regierungsvertreter und Unternehmenslenker, die Trump-Regierung wolle ASML und andere Unternehmen der Halbleiterindustrie dazu drängen, größere Teile ihrer Geschäftstätigkeit in die USA zu verlagern, um dort den Aufbau einer leistungsfähigen Chipindustrie zu beschleunigen.
Eine zentrale Frage lautet, wie weit China inzwischen bei der Entwicklung einer eigenen EUV-Maschine gekommen ist. Die Nachrichtenagentur Reuters berichtete im Dezember, ein Team ehemaliger ASML-Ingenieure habe Anfang 2025 in China einen EUV-Prototyp fertiggestellt, der inzwischen in einem Hochsicherheitslabor in Shenzhen getestet werde.
ASML erklärte dazu, das Unternehmen könne den späteren Arbeitsplatz ehemaliger Mitarbeiter nicht kontrollieren. Diese seien jedoch an Vertraulichkeitsvereinbarungen gebunden. In Fällen des Diebstahls von Geschäftsgeheimnissen sei ASML bereits mehrfach erfolgreich juristisch vorgegangen.
Der Prototyp habe bislang noch keine funktionsfähigen Chips produziert. Nach Angaben von Reuters habe sich die chinesische Regierung jedoch das Ziel gesetzt, bis 2028 einsatzfähige Halbleiter auf dieser Grundlage herzustellen.
Die meisten Branchenkenner halten diesen Zeitplan für unrealistisch. Ihrer Einschätzung nach dürfte es noch etwa ein Jahrzehnt dauern, bis China über eine voll funktionsfähige EUV-Anlage verfügt. Gleichwohl räumen viele ein, dass China sowohl bei seinem EUV-Projekt als auch bei alternativen Technologien schneller vorankommt als ursprünglich erwartet.
Eine weitere große Sorge der USA betrifft Chinas innovative Nutzung der älteren DUV-Technologie. Chinesische Halbleiterhersteller wie SMIC und Huawei haben ein Verfahren entwickelt, das als "Multi-Patterning" bekannt ist. Damit lassen sich mithilfe von DUV-Anlagen Logikchips mit Strukturbreiten unter sieben Nanometern herstellen – ein Bereich, der bislang ausschließlich EUV-Systemen vorbehalten war.
Dieses Verfahren verursacht zwar höhere Kosten und führt zu einer größeren Fehleranfälligkeit. Einige amerikanische Experten sind jedoch überzeugt, dass China damit dennoch Millionen hoch entwickelter Chips produzieren könnte, die das Land benötigt, um im Wettlauf um die Führungsrolle bei künstlicher Intelligenz zu den USA aufzuschließen.
In Europa überwiegt dagegen die Auffassung, dass solche Risiken gegen andere Interessen abgewogen werden müssen: den Erhalt und Ausbau der Einnahmen von ASML und seines industriellen Umfelds sowie die Vermeidung wirtschaftlicher Gegenmaßnahmen Chinas.
Ein zentraler Bestandteil der amerikanischen Strategie ist eine neue Allianz von Staaten entlang westlicher Lieferketten für künstliche Intelligenz. Das Bündnis trägt den Namen "Pax Silica", wurde im Dezember gegründet und soll die Zusammenarbeit sowie gemeinsame Regulierungsstandards fördern – von Energie und kritischen Rohstoffen bis hin zu Hochtechnologie und KI-Modellen.
Bislang haben sich 24 Unterzeichner angeschlossen, darunter die Europäische Union und die Niederlande, die dem Bündnis während des Washington-Besuchs ihres Handelsministers im Juni beitraten. Dadurch könnten sich sowohl der Austausch modernster Technologien zwischen gleich gesinnten Staaten als auch die Vereinheitlichung von Exportkontrollen für EUV-Systeme erleichtern.
Deutlich umstrittener ist dagegen der sogenannte MATCH Act, ein parteiübergreifend unterstützter Gesetzesvorschlag, der im April in den US-Kongress eingebracht wurde. Das Gesetz würde nicht nur den Verkauf von DUV-Anlagen nach China untersagen. Es würde ASML außerdem verbieten, für die bereits in China installierten Hunderte von DUV-Systemen Wartung, Ersatzteile oder Softwareunterstützung bereitzustellen.
Zudem erhielten die Niederlande und andere verbündete Staaten lediglich 150 Tage Zeit, ihre Exportkontrollen an die amerikanischen Vorgaben anzupassen. Andernfalls könnten die USA die sogenannte Foreign Direct Product Rule anwenden. Diese erstreckt US- Exportvorschriften auf ausländische Produkte, sofern bei ihrer Herstellung Technologie amerikanischen Ursprungs verwendet wurde. Für ASML würde dies bedeuten, die US-Vorgaben einhalten zu müssen – andernfalls drohten hohe Geldstrafen und weitere Sanktionen.
Befürworter halten diese Maßnahmen angesichts der nationalen Sicherheitsinteressen für unverzichtbar. Gregory Allen, ehemaliger Leiter für Strategie und Politik am Joint AI Center des Pentagon und heute Leiter eines Forschungs- und Beratungsunternehmens, formuliert dies unmissverständlich: "Ich bin nicht dafür, Unternehmen lediglich freundlich zu bitten, darauf zu verzichten. Ich bin dafür, es gesetzlich zu verbieten."
Die niederländische Regierung – ebenso wie einige andere Verbündete – sieht dies anders. Aus Sicht von Handelsminister Sjoerd Sjoerdsmas ist der MATCH Act "äußerst bedauerlich". Besonders kritisch bewertet er die Androhung, amerikanisches Recht mit extraterritorialer Wirkung auf niederländische und andere ausländische Unternehmen anzuwenden.
"Wir sind der Auffassung, dass jedes Land selbst entscheiden sollte, welche Technologien seine Unternehmen entwickeln und welche Sicherheitsrisiken damit gegebenenfalls verbunden sind", sagt er.
Zusätzliche Skepsis weckt aus Sicht der niederländischen Regierung der Widerspruch zwischen der Forderung nach strengeren Exportbeschränkungen für ältere DUV-Anlagen und der gleichzeitigen Entscheidung der Trump-Regierung, den Export von Nvidias H200-KI-Chips nach China zuzulassen. Diese Chips können ausschließlich mit einigen der modernsten EUV-Anlagen gefertigt werden.
Sjoerdsma steht nun vor ähnlich schwierigen Gesprächen bei einer bevorstehenden Reise nach China. Peking hat den MATCH Act scharf kritisiert und kürzlich Regelungen eingeführt, die Sanktionen gegen ausländische Unternehmen ermöglichen, welche amerikanische Sanktionen oder Exportkontrollen befolgen.
Die Niederlande spüren bereits die Folgen ihrer Entscheidung vom vergangenen September, die Kontrolle über den chinesisch kontrollierten niederländischen Chiphersteller Nexperia zu übernehmen, um eine Verlagerung von Produktionskapazitäten nach China zu verhindern. Als Reaktion blockierte die chinesische Regierung die Ausfuhren Nexperias aus China und beeinträchtigte damit die Lieferketten europäischer und japanischer Automobilhersteller erheblich.
Der Streit um Lutnicks Behauptungen könnte wieder abflauen – insbesondere dann, wenn die USA keine belastbaren Beweise vorlegen. Doch er dürfte lediglich das erste Gefecht in einem weit größeren Konflikt um die technologischen Engpässe und Machtinstrumente der künstlichen Intelligenz sein. Und vieles spricht dafür, dass ASML und seine begehrte Schlüsseltechnologie auch künftig immer wieder zwischen die Fronten geraten werden.
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"From The Economist, translated by www.deepl.com, published under licence. The original article, in English, can be found on www.economist.com"
